潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
特點(diǎn)
- 最高工作溫度360℃和500℃。
- 采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
- 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2 消耗量極低。
- 磁密封保持高氣密性，采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
- 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
- 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對氣體進(jìn)行冷卻回收。
安全性
- 門檢測開關(guān)
- 溫度過升防止器
- 氧濃度異常安全裝置
- 氮?dú)鈮毫z測
- 氮?dú)饬髁繖z測
- 冷卻水流量檢測
- 漏水傳感器
- 過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)
